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主题：【讨论】为什么ICP冷却气的气体流量通常设置在10-15L/min之间？

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JOE HUI
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发表于：2017/12/18 22:33:10 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
为什么ICP冷却气的气体流量通常设置在10-15L/min之间？
该帖子作者被版主 tang566加 2积分， 2经验，加分理由：发贴
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2017/12/19 10:06:29 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
不同仪器都是这个范围吗？
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abcpgf
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2017/12/19 10:07:23 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
太大耗气量大，太小冷却效果差。
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砂锅粥
czcht
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2017/12/19 10:53:23 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 abcpgf(abcpgf) 发表:
太大耗气量大，太小冷却效果差。
这个解释感觉比较靠谱。
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abcpgf
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2017/12/19 13:49:41 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
我瞎掰的哈，个人意见，仅供参考。
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