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主题：【求助】离子减薄怎样才能减出厚度均匀的薄区？

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发表于：2018/01/22 15:41:57 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
用双束离子减薄减出的薄膜样品在拍弱束像的时候厚度条纹特别密，习惯的减薄角度是+-4°，4.0kev减出薄区再用2Kev修几次，不知道大神们有没有什么好的减薄条件可以减出厚度均匀的样品？
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洪星二锅头
coime
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2018/1/24 15:47:23 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
到4?，用低能量2kv左右5-10min精修就可以，时间不能太长了，容易把孔洞边缘的薄区打没了
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