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主题：【讨论】一台安捷伦6890N，进样口载气压力和FID的三路气体压力（流量）均为0， 不能达到设定值，加热可以。请问是什么可能的原因？

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symmacros
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发表于：2018/02/23 11:00:37 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
一台安捷伦6890N，进样口载气压力和FID的三路气体压力（流量）均为0， 不能达到设定值，加热可以。请问是什么可能的原因？
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2018/2/23 11:43:08 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
如果气体没问题的话，压力都是有问题的话，可能是EPC板或则主板问题
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xiao-jin
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2018/2/23 15:15:37 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
在外接气源压力正常的前提下，仪器输入阀是否关闭或者漏气？
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雨木霖
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2018/2/23 17:04:42 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
如果只是某一个气没压力，那么一般是这一路气漏气，检查一下拧紧修复即可。
一共四个气全都为0是不正常的。私怀疑是主板或者哪里的问题。
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2018/2/23 21:50:16 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 xiao-jin(xiao-jin) 发表:
在外接气源压力正常的前提下，仪器输入阀是否关闭或者漏气？
外接气源压力正常，和其它气相并联用气。输入阀门都开启有气。
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2018/2/23 21:53:44 地板 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 wajer(anwiner) 发表:
如果气体没问题的话，压力都是有问题的话，可能是EPC板或则主板问题
有可能的。，准备换板子试试。
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2018/2/23 21:55:00 6楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 雨木霖(mickeylin) 发表:
如果只是某一个气没压力，那么一般是这一路气漏气，检查一下拧紧修复即可。
一共四个气全都为0是不正常的。私怀疑是主板或者哪里的问题。
是的，四个气都上不来为0，估计是板子问题。
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symmacros
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2018/2/23 21:55:22 7楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 雨木霖(mickeylin) 发表:
如果只是某一个气没压力，那么一般是这一路气漏气，检查一下拧紧修复即可。
一共四个气全都为0是不正常的。私怀疑是主板或者哪里的问题。
是的，四个气都上不来为0，估计是板子问题。
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senke
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2018/2/24 8:25:59 8楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
三路气体都为0 ，那有可能是EPC有问题了。
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dadgoh
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2018/2/24 16:30:31 9楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
检查一下EPC供电是否正常
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2018/2/24 20:53:37 10楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 senke(lifen4607) 发表:
三路气体都为0 ，那有可能是EPC有问题了。
难不成两个EPC同时坏了？
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