主题:【求助】ICP光谱仪点火失败

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Insm_078920ab
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ICP光谱仪点火之后,辅气和等离子气的流量都往下降,或者辅气流量往上升,这是哪里出了问题?
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JOE HUI
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辅气和等离子气的流量都往下降,好奇你能看得到吗?仪器参数不是提前设置好的吗?
symmacros
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tang566
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gangzi3617
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砂锅粥
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点火过程中,辅助气是要下降的,但等离子气(冷却气)是不会下降的。
dadgoh
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砂锅粥
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hausa
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点火过程中是会改变三路气体的流量的,不同的厂家不一样,同一厂家不同型号的仪器点火程序也不一样,如果点火两分钟之后参数还有变化那就是有问题了,除了管路堵了之外,可以尝试反吹一下MFC
gangzi3617
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点火的时候先要总默认的高流量吹扫,点火后流量降到设定值
不忘初心
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