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主题：【求助】安捷伦7500抽不了真空

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发表于：2018/08/04 13:46:53 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
安捷伦7500ce，抽真空当真空抽到3.2×10^2时候，就不再继续降低了，然后就报错#1101，真空度达不到要求，分子泵不能启动，什么原因呀？
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2018/8/4 15:50:22 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
真空泵坏了
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Insm_3113b4f0
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2018/8/6 9:25:12 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由雨木霖(mickeylin)发表:真空泵坏了
真空泵是好的，是抽到一半然后压力就不再继续下降了
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platinum
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2018/8/6 13:41:43 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
你在抽真空之前干过什么？分子泵要在IF/BK压力低于20pa才启动，常见情况就是用户洗了锥，大锥和小锥没有上紧，导致真空抽不下去，还有就是锥孔扩大。
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timstoicpms
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2018/8/6 15:57:37 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
分子涡轮泵上有个 IF/BK Gate Valve 坏了，找安捷伦报修
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2018/8/7 17:11:03 地板 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由platinum(platinum)发表:你在抽真空之前干过什么？分子泵要在IF/BK压力低于20pa才启动，常见情况就是用户洗了锥，大锥和小锥没有上紧，导致真空抽不下去，还有就是锥孔扩大。
抽真空之前什么都没有干，锥的可能性不大吧，毕竟锥后面还有控制阀，应该不是这个地方的问题
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2018/8/7 17:13:33 6楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由timstoICPMS(timstoICPMS)发表:分子涡轮泵上有个 IF/BK Gate Valve 坏了，找安捷伦报修
gate valve 可以用软件开关的
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wangjstw
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2018/8/19 0:47:56 7楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
为了方便用户识别产品故障，现代家电和仪器设备往往预设了故障代码。既然显示了#1101，利用手册或售后系统查清故障原因才是首要的措施。
能往下走一走，但很快就会达到压力平衡、压力值不再下降，一般是层压管路漏压，检测重点应当放在各接头的连接上。
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