今天真空继续下降。泄露仍然没通过。
1 真空继续,已达1.4*E(-7),理论上最高可达0.8*E(-7)。
2 泄露检测
从泄漏检测来看,主要是水严重超标,N2也超标,O2略微超一点。
因为之有搬仪器时虽然我拆下气体分压阀那边是用塑料薄膜层层包裹且加了橡皮筋箍紧的,但由于一些原因没有及时装回去,可能导致水汽进去了。
整个管路应该是不漏气的。主要是要弄走积存的水汽。N2/O2的比例是3.644, 按空气中氮/氧比,应为3.714。我们检漏的比例略低。是否可以说只是里面积存了部分呢?氧已经接近达标了。如果是有空气漏进来,应该都会超标很多。
我想是否可以这样操作:
1 把柱温升高到150度左右,保证里面的水汽保持气态,以便让真空泵抽走。
2 传输线、离子源开到200度左右维持三天左右。
3 隔垫吹扫开起,30ml/min, 开上三天。
柱流速是否要开大呢?
如此操作三天后再作泄漏检测。看看值是否下降?
各位熟悉的站友支下招。