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主题：【求助】薄膜的厚度测量都有哪些方法？谢谢

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silva
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发表于：2007/01/27 22:51:00 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
请问薄膜厚度的测试方法都有哪些啊？怎么测试啊？厚度约为几十至几百纳米。非常感谢！
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2007/1/28 10:15:00 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
据我所知测薄膜的厚度有台阶仪、椭偏仪等，当然更加直观的方法就是用SEM或TEM看截面了。
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孤独浪子
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2007/1/28 10:52:00 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
薄膜的厚度测量都有好多方法，最好是用薄膜测厚仪，而且不是很贵，大概几百块钱吧！
这里好像有的买 http://www.zgkx17.com/  也不知道是否合适您
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gzklyj-1178
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2007/1/28 11:03:00 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
请问是应用于哪方面的薄膜？是何种材质？
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kanojeo
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2007/1/28 12:49:00 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
有膜厚仪、台阶仪、椭偏仪等都可以测
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2007/1/28 12:52:00 地板 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
还有紫外分光光度计的积分球也可以测　nm级的膜厚
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silva
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2007/1/28 13:05:00 6楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
扫描的截面样品怎么制备啊？谢谢！
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zxl2003
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2007/1/29 19:09:00 7楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 silva 发表:
扫描的截面样品怎么制备啊？谢谢！

如果能掰断的话就将端口立着夹在样品台上直接观察。如果用其他方法切断或锯断，恐怕就得用砂纸打磨和抛光了。磨截面时需要用两片平板将样品夹紧或用树脂镶嵌起来。如有必要，抛光之后可用适当的浸蚀剂腐蚀一下，这样可以使显微组织和界面显示得更加清晰。。
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