小弟现有一混合气体待测试,现在想做定量定性分析,想各位前辈请教:
混合气体的信息如下:
1. 混合气体含有5种元素-B,C,Cl,H,Ar;
2. 气体种类数未知,已知成分为Ar,H2,CH4,BCl3,HCl,二氯硼烷等,还有其他未知成分;
3. 气体是用Ar稀释过的,所以其中含量最高的是Ar,Ar体积分数80%以上,其他气体体积分数约占5%~20%; 4. Ar是稀释气体,定性定量测试的重点为除Ar之外的其他气体;
5. 气体具有较强的酸性腐蚀性。
小弟的问题如下:
1. 此混合气体可否用
气相色谱质谱联用仪定性定量分析,气体的腐蚀性是否对设备有影响?
2. 可否用红外光谱的方法进行定性分析?
3. 除了色质联用和红外光谱的方法外还有其他什么好的方法?
感谢大家关注,盼望各位前辈能不吝赐教,小弟感激不尽!