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主题：【分享】【实战宝典】ICP-MS在半导体集成电路中有哪些应用？

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发表于：2022/07/05 13:39:45 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
问题描述：ICP-MS在半导体集成电路中有哪些应用？
解答：
ICP-MS广泛应用于测定集成电路制造工艺生产中涉及的硅片、晶圆、湿电子化学品、电子特气、靶材等的无机元素杂质和化学品中的颗粒扫描与分析。

以上内容来自仪器信息网《ICP-MS实战宝典》
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