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透射电镜（TEM）

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主题：【讨论】聚光镜消像散

浏览0 回复6 电梯直达

hailanshi

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发表于：2007/04/16 15:39:00 楼主管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

不知大家对聚光镜消像散有没有什么经验可谈啊。今早在调试电镜时突然发现光斑在过焦及欠焦时呈椭圆状，郁闷得很。用stigmator中的condenser消，但实在是不好消啊，用荧光屏中心的小圆看是圆了，但顺时针散开至外圈的大圆时又变成椭圆了，用大圆做参照是圆的了，但会聚至小圆时又变成椭圆了。有没有什么更好的方法啊，痛苦死了。

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2007/4/16 22:16:00 沙发管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

应该不会这样吧。检查一下照明系统的合轴做好了没有，还有聚光镜光栏对中了没有

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rose802

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2007/4/17 5:44:00 板凳管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

我通常是用最大放大倍数（1.5M)来调圆光斑，此时可能光斑不是标准的圆形，有时会呈三角形，就尽量把三角形调成等边的，然后再还原到需要的放大倍数下，光斑基本上就圆了，这样比在较低的放大倍数下调圆光斑更精确一些。
不知正确与否，还望赐教。

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hailanshi

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2007/4/17 11:23:00 马扎管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

原文由 glucose02 发表:
应该不会这样吧。检查一下照明系统的合轴做好了没有，还有聚光镜光栏对中了没有

唉，的确是这样。我做了一下gun alignment，不知合轴还需要做什么步骤？
聚光镜光阑倒是对中了。

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2007/4/17 11:27:00 地毯管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

原文由 rose802 发表:
我通常是用最大放大倍数（1.5M)来调圆光斑，此时可能光斑不是标准的圆形，有时会呈三角形，就尽量把三角形调成等边的，然后再还原到需要的放大倍数下，光斑基本上就圆了，这样比在较低的放大倍数下调圆光斑更精确一些。
不知正确与否，还望赐教。

不失为一个办法。可以一试！多谢了！

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magggggg

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2007/4/23 20:16:00 地板管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

原文由 hailanshi 发表:
不知大家对聚光镜消像散有没有什么经验可谈啊。今早在调试电镜时突然发现光斑在过焦及欠焦时呈椭圆状，郁闷得很。用stigmator中的condenser消，但实在是不好消啊，用荧光屏中心的小圆看是圆了，但顺时针散开至外圈的大圆时又变成椭圆了，用大圆做参照是圆的了，但会聚至小圆时又变成椭圆了。有没有什么更好的方法啊，痛苦死了。

We had similar experiences. In our solution, we re-aligned the axis alignment from Gun tilt/hori.,spot size dependent GH,pivot point(ppx, ppy), to condensor lens for several times. Make sure everything in tha alignment is OK.

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2007/4/23 20:25:00 6楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

原文由 magggggg 发表:
原文由 hailanshi 发表:
不知大家对聚光镜消像散有没有什么经验可谈啊。今早在调试电镜时突然发现光斑在过焦及欠焦时呈椭圆状，郁闷得很。用stigmator中的condenser消，但实在是不好消啊，用荧光屏中心的小圆看是圆了，但顺时针散开至外圈的大圆时又变成椭圆了，用大圆做参照是圆的了，但会聚至小圆时又变成椭圆了。有没有什么更好的方法啊，痛苦死了。

We had similar experiences. In our solution, we re-aligned the axis alignment from Gun tilt/hori.,spot size dependent GH,pivot point(ppx, ppy), to condensor lens for several times. Make sure everything in tha alignment is OK.

我也做了好几次gun tilt和stigmator里的condensor，再消像散，但还是如故。

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