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主题：【求助】FIB SEM和STEM EDS能谱区别

浏览0 回复2 电梯直达
Ins_f3556621
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发表于：2024/03/11 14:11:11 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
为啥STEM EDS效果更好
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田仕家
v3078320
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2024/3/20 0:18:13 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
一方面电压高，激发深度更深。再就是名义分辨率会更好～
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洪星二锅头
coime
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2024/4/3 9:53:35 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
这还和束斑有关系，FIB虽然分辨率能达到1nm左右的，但这是极限情况，通常分辨的尺寸都是100nm以上，甚至1μm以上才纳米尺度甚至能区分，而STEM则要小得多，eds本身常规的分辨就是几个nm，效果必然要好于FIB
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