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主题：【已应助】无定形氧化硅纳米薄膜XRD表征求助

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发表于：2024/04/10 21:59:12 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
求教，目前需要表征氧化硅薄膜，无法从基底上独立出来，我们通常把薄膜做在单晶硅片上。厚度可以控制在纳米-几个微米之间。
我们需要做这种无定形氧化硅结构的pdf（对分布函数）分析，请问有没有什么推荐的XRD表征方法呢？

掠入射XRD可能比较适合我们的薄膜体系，但是向老师咨询了一下，掠入射角度范围太小了，无法用来做pdf分析。
推荐答案：iangie回复于2024/04/11
几个微米厚的东西可以用FIB cut出来.
上同步辐射PDF beamline
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2024/4/11 15:00:20 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
几个微米厚的东西可以用FIB cut出来.
上同步辐射PDF beamline
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