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X射线荧光光谱仪（XRF）
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主题：【求助】据说XFS可以分析痕量元素，不知道实际情况如何？

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wwworm
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发表于：2007/05/15 16:55:00 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
本人希望分析半导体薄膜表层元素的含量，由于某些元素含量可能极少，普通能谱/波谱仪无法分辨，听说X射线荧光谱可以分析到10ppm，不知道实际效果如何？
另外，本人是西安的，哪位如果知道西安有比较好的x射线荧光谱仪，麻烦告知一下小弟，谢谢
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huibingzhang
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2007/10/22 14:26:00 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
对你的分析要求还没太清楚，需要的话可以给我打电话聊聊，我的电话13911134041。
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nameylf
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2007/10/22 14:45:00 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 wwworm 发表:
本人希望分析半导体薄膜表层元素的含量，由于某些元素含量可能极少，普通能谱/波谱仪无法分辨，听说X射线荧光谱可以分析到10ppm，不知道实际效果如何？
另外，本人是西安的，哪位如果知道西安有比较好的x射线荧光谱仪，麻烦告知一下小弟，谢谢


X射线荧光光谱仪有很多类型，从你描述的情况来看，初步感觉你应该选用全反射X荧光分析仪。
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pxlzhb2000
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2007/10/26 14:16:00 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
常规的XRF能谱仪的检测线在100ppm以上，且标样很难买到。全反射XRF能谱仪制样简单，检出限在ng级，应该适合您！详情可查看http://www.msal.net/
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沧浪之水
j-xinjun9802
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2007/10/27 0:54:00 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
不是据说，事实如此！我用的是帕纳科PW4400 XRF，某些元素的检出限可精确到1个ppm,看你要分析什么元素吧，检出限在10个ppm一下的元素很多！
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nameylf
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2007/10/27 15:11:00 地板 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 j-xinjun9802 发表:
不是据说，事实如此！我用的是帕纳科PW4400 XRF，某些元素的检出限可精确到1个ppm,看你要分析什么元素吧，检出限在10个ppm一下的元素很多！


烦请描述的再详细一些，让大家共同分享你的工作成果，谢谢。
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george
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2007/10/29 15:49:00 6楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 wwworm 发表:
本人希望分析半导体薄膜表层元素的含量，由于某些元素含量可能极少，普通能谱/波谱仪无法分辨，听说X射线荧光谱可以分析到10ppm，不知道实际效果如何？
另外，本人是西安的，哪位如果知道西安有比较好的x射线荧光谱仪，麻烦告知一下小弟，谢谢


如果只是样品的薄膜表面里含有10ppm，估计目前的XRF都没有办法分析出来的。
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