主题:【求助】请赐教ICP燃烧的是辅助气还是冷却气

浏览0 回复24 电梯直达
hunk
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点火阶段,施加RF能量,点火器放电释放出电子。等离子气减少和辅助气形成推进气,流量共为26 l/min,辅助推进气在电感线圈中心形成氩气气流。点火阶段一直持续到系统检测到等离子体的形成或直到超时。

qian
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litsas
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mengfei123456
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1.载气对形成等离子火焰没什么帮助,只是如果载气过大,可能会导致等离子体不稳定,甚至被吹灭.
2.辅助气是形成等离子体的火种,假如没有辅助气,冷却气可以被电离,但是没办法形成稳定的等离子,冷却气流速很快,把电离的气体吹掉.
3.冷却气是形成和维持稳定的等离子体的主要气体,当辅助气被电离后,他们很快的把靠近的气体也电离,冷却气的内里表面也被不停的电离,最后形成我们看得到的等离子体火焰.
4.大家可能会问,主要电离的是冷却气,那我等到形成稳定等离子体火焰后,把辅助气关掉,怎么样?那不行,因为如果没有辅助气,火炬管的后端压力会变得比外面小,那时候火焰会倒吸到里面去,那就玩完了.所以,形成稳定的等离子火焰后,辅助气主要是把火焰往外面托,不让他回流.
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