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主题：【求助】S－3000N的beam current1 不能小于70的原因？

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wangzhan
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发表于：2007/09/02 10:39:00 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
我用的是日立S－3000N的SEM，前几天发现图像变得不清晰了，以前1－2万倍都不错的，现在4、5千倍都不行了。后来发现beam current1 在70左右，稍微调小一点就没有信号了，物镜光镧全部退出来也不行。请教各位有没有知道如何解决的？不胜感谢！
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2007/9/5 11:02:00 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
物镜光镧全部退出来也不行,肯定电子束歪了，先调电子枪对中吧
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