主题:【求助】如何解决样品充电现象

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echozhu
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本人是新手,刚开始操作扫描电镜,在拍片时常常会出现一些图像亮度失常(无法正常调节亮度)或图像出现亮斑线的现象,经过自己看书,发现这是由于样品导电性不好,出现充电现象(charge-up)才导致的图像失常。想请教各位专家,如何有效解决这一问题?我看的是英文资料,有些地方不是特别懂,除了使样品镀金更均匀外,是否采取增大样品室气压,在低真空下扫描,减小入射电子电压,减小束斑大小(spotsize)等措施也能改善这一现象,希望各位专家们能就此为小弟加以解释,小弟不胜感激。
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春天的桃子
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huangtao0307
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原文由 echozhu 发表:
本人是新手,刚开始操作扫描电镜,在拍片时常常会出现一些图像亮度失常(无法正常调节亮度)或图像出现亮斑线的现象,经过自己看书,发现这是由于样品导电性不好,出现充电现象(charge-up)才导致的图像失常。想请教各位专家,如何有效解决这一问题?我看的是英文资料,有些地方不是特别懂,除了使样品镀金更均匀外,是否采取增大样品室气压,在低真空下扫描,减小入射电子电压,减小束斑大小(spotsize)等措施也能改善这一现象,希望各位专家们能就此为小弟加以解释,小弟不胜感激。



所謂充電就是電子束打在樣品表面后﹐由于樣品本身導電性差所以很多電荷就聚集在樣品表面.可以通過以下几種方法進行改善1.給樣品鍍金﹑鍍碳增加樣品的導電性.2.貼導電膠將樣品表面的電荷導走.3.采用低真空作業.4.在不影響圖片質量的情況下減少電子束對樣品的轟擊.
echozhu
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多谢各位的指点,但个人感觉放电现象是我拍照不久所遇到最大的问题,不知大家有没有详细一点的关于缓解放电现象的资料或论文,让我学习学习,小弟不胜感激。
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