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主题：【讨论】喷金10s，如何判断图片中是否金颗粒？

浏览0 回复19 电梯直达
yangyouran
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发表于：2012/11/06 11:19:31 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
      以下图像为溶胶凝胶法制备的SiO2薄膜，第一张未喷金，为了降低电子束对样品的伤害，选择了低电压，小工作距离。但是感觉不够清晰。


因效果不好，喷金10s，喷金电流15mA，金膜厚度约2nm，所得图片如下：



相较于不喷金的图片，喷金后多出了很多小颗粒，能否说明这些小颗粒是金？还是说喷金后图像更清晰，小颗粒是膜本身的颗粒呢？
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2012/11/6 12:03:57 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
我觉得是膜本身的颗粒，第一张分辨率不够，没看清楚。仔细看能够看出来第一张有更小的颗粒
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2012/11/6 12:04:37 Last edit by mitchell_dyzy
fengyinqiao
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2012/11/6 16:41:21 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
是不是纳米级的呀，颗粒好像没有分开，还在一块聚着。
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asahi42
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2012/11/6 22:40:02 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
杨老师，我感觉后一张图片里所有的亮点都是金颗粒，是金颗粒在溅射时优先附着在样品表面比较高的地方，造成不连续，因为第一张图颗粒的大小相当于第二张图颗粒大小的三四倍，而第一张图每个颗粒都可以隐约判断出有两三个凹凸不平…另外，后一张图为啥不开减速呢？
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mitchell_dyzy
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2012/11/7 20:21:48 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 asahi42(asahi42) 发表:
杨老师，我感觉后一张图片里所有的亮点都是金颗粒，是金颗粒在溅射时优先附着在样品表面比较高的地方，造成不连续，因为第一张图颗粒的大小相当于第二张图颗粒大小的三四倍，而第一张图每个颗粒都可以隐约判断出有两三个凹凸不平…另外，后一张图为啥不开减速呢？
这么多金啊
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驰奔
srd2009
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2012/11/12 21:30:48 地板 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
因效果不好，喷金10s，喷金电流15mA，金膜厚度约2nm，
--
楼主这个条件参数，结论不可靠！
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2012/11/12 21:31:14 Last edit by srd2009
yangyouran
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2012/11/14 14:01:21 6楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 驰奔(srd2009) 发表:
因效果不好，喷金10s，喷金电流15mA，金膜厚度约2nm，
--
楼主这个条件参数，结论不可靠！


您说什么不可靠？

金膜厚度是计算出来的：我在同样的条件下喷金90s，用台阶仪测试了金膜厚度，计算了沉积速率，推算获得其它喷金时间对应的金膜厚度。
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驰奔
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2012/11/14 18:40:09 7楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 yangyouran(yangyouran) 发表:
原文由 驰奔(srd2009) 发表:
因效果不好，喷金10s，喷金电流15mA，金膜厚度约2nm，
--
楼主这个条件参数，结论不可靠！


您说什么不可靠？

金膜厚度是计算出来的：我在同样的条件下喷金90s，用台阶仪测试了金膜厚度，计算了沉积速率，推算获得其它喷金时间对应的金膜厚度。


我指的是15mA溅射是不是太高了，能获得均匀的2nm的连续膜层吗？我怀疑小的颗粒是金颗粒。
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wjg
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2012/11/14 23:02:48 8楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
200纳米标尺下能看见金颗粒，你喷的金颗粒太粗了啊，会影响样品的观察啊
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yuezai
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2012/12/13 11:49:37 9楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 wjg(wjg) 发表:
200纳米标尺下能看见金颗粒，你喷的金颗粒太粗了啊，会影响样品的观察啊


同意呀。
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cvbs11
cvbs11
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2012/12/23 8:44:41 10楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
镀金是为了增强导电性，图片可以拍的更清楚，200nm应该可以看到很清晰的颗粒了，不过楼主的图片拍的还是不够清楚呀，建议换到2KV观察一下。楼主说是喷金，靶材用的是Au吗？不是PT或着Ir吗？
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