主题:【分享】中国电子行业超纯水国家标准(GB/T11446.1-1997 )

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  (GB/T11446.1-1997 )

指 标 名 称 一 级 水(EW-1) 二 级 水(EW-2)
 电阻率MΩ.CM. (25℃) 18(95‰时间)不低于17 15(95‰时间)不低于13
  硅≤μg/L 2 10
 >1μm 微粒数 0.1 5
 细菌个数≤/ml 0.01 0.1
  铜 ≤μg/L 0.2 1
  锌 ≤μg/L 0.2 1
  镍≤μg/L 0.1 1
  钠≤μg/L 0.5 2
  钾 ≤μg/L 0.5 2
  氯≤μg/L 1 1
 硝酸根≤μg/L 1 1
 磷酸根≤μg/L 1 1
 硫酸根≤μg/L 1 1
 总有机碳≤μg/L 20 100





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