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主题：【求助】EDS元素分析的准确度

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nanguodewo
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发表于：2007/09/05 15:14:00 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
在扫元素的过程中碰到几个问题，请教给位大侠：
1. 可以用ＳＥＭ的ＥＤＳ定量分析元素吗？也就是问结果中显示的质量比有多大误差？
２．元素分析能分辨的含量低限多少？

多谢！！！
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2007/9/6 13:30:00 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 nanguodewo 发表:
在扫元素的过程中碰到几个问题，请教给位大侠：
1. 可以用ＳＥＭ的ＥＤＳ定量分析元素吗？也就是问结果中显示的质量比有多大误差？
２．元素分析能分辨的含量低限多少？

多谢！！！
1.当然可以,误差来源很多,比如样品制备,测试条件,以及有无标样,等等,好的定量一般对原子序数较小的元素误差在5%左右,原子序数较大的误差可以控制在2%,当然前提是有标样,样品制备合理,测试条件合适.
2.理论上探测极限是0.1%,但是实际很难达到,均匀样品可以探测到0.5%.
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liushanhu
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2007/9/30 11:45:00 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
可以半定量，也要根据扫的精度来说。
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nanomakeup
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2007/10/4 22:17:00 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
EDS测定的最小有效区域是多大呢？这会影响到精度的。
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小石头
julibo
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2007/10/5 21:10:00 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
不同仪器的精度不同
我用的一款Oxford精度大约是130ev 能谱就会有飘移的情况存在
而且EDS对重元素比较灵敏
轻元素的定量我们一般采用AES（俄歇电子能谱）
个人认为　EDS的分析速度比较快　
精确定量当然得倚重经典的化学分析仪器方法比如AA ICP等等
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kittlewjj
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2007/10/5 21:22:00 地板 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
氧化物用EDX不是很好吧？如果C,O不高的话精度还是可以的。
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wuyun2007
wuyun2007
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2007/10/7 15:10:00 6楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 nanguodewo 发表:
在扫元素的过程中碰到几个问题，请教给位大侠：
1. 可以用ＳＥＭ的ＥＤＳ定量分析元素吗？也就是问结果中显示的质量比有多大误差？
２．元素分析能分辨的含量低限多少？

多谢！！！

有多大的误差完全取决于样品及样品处理情况,样品如有按标准做那肯定分析的误差会小很多;
元素的分辩率一般可达到0.1%WT以上.
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fish0619
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2007/10/10 17:06:00 7楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
EDS只能用來作半定量的分析吧,若想做精準的成分確認可能就要用比較傳統分法了,例如:XRF ICP等.另C S N O等低原子量的可能要另外用C S N O分析儀器
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