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主题：如何制备高密度600线/毫米光栅样品，以便在SEM下检测光栅的形貌？谢谢！

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yanyanzhang
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发表于：2003/12/20 19:03:52 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
如何制备高密度600线/毫米光栅样品，以便在SEM下检测光栅的形貌？谢谢！
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2003/12/21 14:41:44 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
光栅是通过金刚石刀具在铝面上经过挤压出平行槽而制得的，具体工艺过程您可直接联系长春光机所光电传感研究室光栅室 0431-5393167向齐向东主任，张坊城，于宏柱等同志咨询。
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2003/12/22 17:26:15 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
上海光机所薄膜中心在光栅测试方面很有经验，您可向他们咨询一下，Tel:021-69918461、021-69918007。
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