主题:【讨论】ICP测定硅片硼磷硅玻璃层中硼磷含量

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semic
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有没有谁做过ICP测定硅片硼磷硅玻璃层中硼磷含量,大家来讨论一下,如何处理样品才能保证测量精确?
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semic
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有没有人做过测定硼磷硅玻璃层中硼磷含量?好像做这个的不是太多
我测量过几次,几次的测试结果偏差在10%左右,好像不是太稳定?
有谁做过类似的测试,大家讨论一下
semic
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风之灵
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原文由 semic 发表:
有没有人做过测定硼磷硅玻璃层中硼磷含量?好像做这个的不是太多
我测量过几次,几次的测试结果偏差在10%左右,好像不是太稳定?
有谁做过类似的测试,大家讨论一下


你用什么方法溶样的啊?如果是用HF酸溶样,要注意这两种元素的挥发问题(这两种元素容易形成易挥发氟化物),我觉得偏差大不大可能是仪器的稳定性问题,应该是损失程度不一致造成的。
semic
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好久没有来了,谢谢了!
一起稳定性应该还是可以的,不过用HF融解的时候没有考虑到挥发问题,可能这个对测定影响比较大吧
yajuan6557
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xuchuan
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唐伯猫点蚊香
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B的灵敏度还是挺高的,用密闭消解,注意要用耐HF的雾化器和炬管.
风之灵
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原文由 jiangyunjun3 发表:
B的灵敏度还是挺高的,用密闭消解,注意要用耐HF的雾化器和炬管.


用微波消解溶样吧,这样不用担心损失。或者没有微波消解的话,用低温水浴加热,温度<60℃。
cnstone
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