原文由 zxl2003 发表:
电子显微镜按成象原理不同有透射电子显微镜和扫描电子显微镜两类。
透射电镜成象原理与透射式光学显微镜完全相同,只不过是将可见光照明换成电子束照明,将玻璃透镜换成电磁透镜,将成象的毛玻璃换成荧光屏。由于成象透镜总是对通过它的光波有衍射效应(相当于小孔衍射),衍射效应会使象变得模糊,影响透镜的分辨率。可以计算照明源的波长越短,衍射效应的影响越小。电镜中使用的电子波的波长只是可见光的十万分之一,这样电镜的分辨率大大提高了。
扫描电镜成象就完全不同了,它是利用细聚焦高能电子束在样品表面扫描激发出各种物理信号,如二次电子、背反射电子等。通过相应的检测器来检测这些信号,再将其转换为视频信号来调制显像管的亮度。由于信号的强度与样品表面的形貌、成分有对应关系,那么逐点在样品上扫描一个面积,在显像管上就相应获得该面积样品表面的形貌或成分的一副图象。扫描的面积越小,放大倍数就越高。