主题：【讨论】样品台在SEM观测过程中是否移动

原文由 rennyann 发表:
  请教一个SEM使用中的问题：
  前两天使用了LEO1530观测一个直径为3mm左右的样品，在低放大倍数下能够看到完整的样品，然后直接用鼠标在关心的区域点一下，然后输入想要的高放大倍数，经过简单的聚焦，就能看到这个区域放大倍数很高的清晰图像；
  如果关心放入区域在边界处，就在直径为3mm的圆周上，那么在进行这个操作的过程中，样品台是否有移动？即，是不是系统会自动的根据你鼠标点的位置来移动样品台，把样品中对应的鼠标点的位置移动到物镜的轴上。

      谢谢

原文由 rennyann 发表:
  请教一个SEM使用中的问题：
  前两天使用了LEO1530观测一个直径为3mm左右的样品，在低放大倍数下能够看到完整的样品，然后直接用鼠标在关心的区域点一下，然后输入想要的高放大倍数，经过简单的聚焦，就能看到这个区域放大倍数很高的清晰图像；
  如果关心放入区域在边界处，就在直径为3mm的圆周上，那么在进行这个操作的过程中，样品台是否有移动？即，是不是系统会自动的根据你鼠标点的位置来移动样品台，把样品中对应的鼠标点的位置移动到物镜的轴上。

      谢谢

原文由 esem 发表:


不明白，不是说鼠标点一下就移动样品台了吗？

原文由 rennyann 发表:
嗯 我想问的问题也就是： 是不是只要一点鼠标，样品台就动了？
还是，在低的放大倍率下，一点鼠标，样品台就动；在高的放大倍数情况下，一点鼠标，是扫描电路调整，来扫描不同的扫描区域？

这个样品台运动的精度有多大啊？ 哪位有个大致的估计？

谢谢大家

是样品台动作，如果要获得好的图像质量，电子束的“同轴”很重要。所以观察高质量图片时很少对扫描电路进行调整。

每家的样品台都不一样，很少有厂家标示这项指标，配备超声传感器的闭环马达台可以达到0.2um的单步移动精度。

您也可以自己进行测量，高放大倍率下让马达台做最小单步移动，然后测量一下移动的距离，即为单步最小移动精度。