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主题：【求助】单晶薄膜确定物相的问题

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ustccc
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发表于：2008/05/28 20:52:20 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
我的薄膜是外延在Si(100)衬底上的硅化物， 大约3nm，
请问用什么样的扫描模式比较适合？
谢谢！
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2008/5/29 9:35:05 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
是否应该尽量选择一个入射角很小的晶面做rocking curve阿？还是应该选择衍射最强的晶面？
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