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主题：【求助】AES和SIMS做深度谱各有哪些优缺点？

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feiliao
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发表于：2008/12/10 19:40:14 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
我想做氮化碳薄膜的深度谱分析，厚度400nm左右，基底为Si3N4，
请问用那种方法做深度谱比较合适，AES还是SIMS？它们各有什么优缺点？

另外，XPS好些也可以做深度谱了，它与AES和SIMS有什么不同？

希望得到各位老师指点，小弟先谢谢了。
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feixiong5134
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2008/12/16 18:59:42 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
没有做过sims的
好像AES可是深度浅
XPS可是深度深点
因为AES是更表面的东西
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