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fengyonghe回复于2009/03/26
只要把样品做好，扫描电镜能不能测的关键在于束斑直径，也就是最高分辨率。如果误差允许5-10纳米，束斑直径3纳米的扫描电镜可以做。如果误差允许1-3纳米，束斑直径1纳米的扫描电镜可以做。型号为SUPRA 55和SUPRA40扫描电镜，束斑直径1纳米。在横截面上玻璃和金膜形成很大的反差，更有利于测量。国内已有长度测量的标样，在测量之前先行校对一下误差。纳米级长度的扫描电镜测量方法通则，标准编号：GB/T 20307-2006 金属履盖层横截面厚度扫描电镜 测量方法 JB/T 7503-1994
dukite2001回复于2009/03/23
扫描电镜作比较难，主要因为制样就不好做，加上最高端的分辨率目前也有问题，玻璃不导电，选用透射电镜制样做或许最可行！
1350799回复于2009/03/23
你上网查一下，X射线荧光测厚仪CMI9000，我想这个可以解决你的问题！
huangtao0307回复于2009/03/25
你有膜厚儀試一下﹐那個應該可以的
原文由 hmzhou83 发表:
我不是很清楚哪个版块有技术可以解决这个问题，估计电镜也许可以，所以先发在这个版块，要是有其他版块有此项技术请告知一下，我再转发。谢谢！
我们需要测量的金膜是溅射在玻璃基片上的。玻璃基片约0.5mm厚，大小约1cm*1cm。基片上有一层很薄很薄的铬，完全可以忽略，金膜溅射在铬上的，厚度约50nm左右，我们想比较准确测量一下其厚度，误差 1-3nm以内吧。误差5－10nm左右呢？？？示意图如下
原文由 tiewen1029 发表:原文由 hmzhou83 发表:
我不是很清楚哪个版块有技术可以解决这个问题，估计电镜也许可以，所以先发在这个版块，要是有其他版块有此项技术请告知一下，我再转发。谢谢！
我们需要测量的金膜是溅射在玻璃基片上的。玻璃基片约0.5mm厚，大小约1cm*1cm。基片上有一层很薄很薄的铬，完全可以忽略，金膜溅射在铬上的，厚度约50nm左右，我们想比较准确测量一下其厚度，误差 1-3nm以内吧。误差5－10nm左右呢？？？示意图如下
你的样品如果做corss-section后，电镜测量也可以，不过误差会大于1-3nm,且估计cross-section不好备样。
XRF有一种是专门测量镀层厚度的，在有标样的条件也，也可以做，但你的厚度50nm太薄了，我见过的XRF测厚仪估计误差也有50nm.
最好的我想是XPS，没有用过，但肯定能测，之前我们公司一个部门就专门测这中10-100nm的镀层厚度，好几百万的机器专门测这个，呵呵
原文由 hmzhou83 发表:
我不是很清楚哪个版块有技术可以解决这个问题，估计电镜也许可以，所以先发在这个版块，要是有其他版块有此项技术请告知一下，我再转发。谢谢！
我们需要测量的金膜是溅射在玻璃基片上的。玻璃基片约0.5mm厚，大小约1cm*1cm。基片上有一层很薄很薄的铬，完全可以忽略，金膜溅射在铬上的，厚度约50nm左右，我们想比较准确测量一下其厚度，误差 1-3nm以内吧。误差5－10nm左右呢？？？示意图如下
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