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主题：【讨论】ZEISS SEM 安装时地线及磁场问题讨论

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saj
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发表于：2009/03/27 10:16:50 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
对于ZEISS Evo系列SEM,安装时碰到下述问题：

１.接地要良好，须地线电阻小于0.25 欧姆，且单独接于M8地桩。实际条件为实验室所有设备共用一小于0.5 欧姆的地线，每台设备地线电阻小于0.5 欧姆，不知此条件对SEM可否适用？

2. 电磁干扰：因场地受限，SEM, XRD 及 XRF设备共用一室，那多SEM须距离 XRD，XRF多远才不受其电磁干扰？

谢谢解答．
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2009/4/2 9:25:34 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
底线绝对满足要求了，一般扫描电镜要求底线也就是小于10欧就哦了。
磁场你具体叫工程师拿磁场仪去测一下就可以了，一般厂家都有专门测磁场的仪器。
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kevin sun
pppz
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2009/4/6 21:00:39 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
电镜这种大型仪器最好单独接地。
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