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主题：【求助】SEM制样过程中怎么样抛光？

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luing993
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发表于：2009/03/27 10:00:18 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
最近在学SEM制样，主要是做cross-section，用4000目的砂纸研磨后再用0.3和0.05MIC的氧化铝抛光液抛光，但是一直有划痕，如图：



但是我看到有些人能抛的非常光滑，效果如图：

所以想请教一下有没有别的方法能抛出如上图的效果。希望各位大侠不吝赐教！非常感谢！

因工作需要，不得不把图片删去，谢谢理解！
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jackyzhao
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2009/3/27 11:53:59 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
可以用离子束 Etching来做
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forzamarco
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2009/3/27 12:20:19 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
发一张离子研磨的效果图给你,更多的图已经发到你的邮箱里了.这张图是用IM-3000研磨的.时间只用了2分钟,所以不存在我之前的帖子里有的板油说太慢的问题.

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luing993
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2009/3/27 18:48:58 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 forzamarco 发表:
发一张离子研磨的效果图给你,更多的图已经发到你的邮箱里了.这张图是用IM-3000研磨的.时间只用了2分钟,所以不存在我之前的帖子里有的板油说太慢的问题.

您是纯好人，呵呵，虽然我抛光的技术不错，但是效果比离子研磨还是差的多啊。研磨2分钟的效果比我抛光十几分钟都好啊。
谢谢

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golf
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2009/3/31 13:35:21 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
不错 好图
离子研磨很贵的吧？
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luing993
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2009/3/31 16:13:32 地板 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
非常贵，已经超出了预算。比我预想的要贵一倍多
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