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主题：【求助】fei离子泵烘烤的问题

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yahuohua
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发表于：2009/07/03 11:59:31 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
诸位同仁有用过fei设备离子泵烘烤功能的么？
曾在一台日立sem上看过，有几个像加热片的包在离子泵外，给它加热，还有连线接到设备某个接口上。
但我看Fei透射的说明没见有这个功能呀。
谁用过，能否指点一下。夏天了，真空抽得越来越困难，着急呀！
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2009/7/3 17:05:45 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 yahuohua 发表:
诸位同仁有用过fei设备离子泵烘烤功能的么？
曾在一台日立sem上看过，有几个像加热片的包在离子泵外，给它加热，还有连线接到设备某个接口上。
但我看Fei透射的说明没见有这个功能呀。
谁用过，能否指点一下。夏天了，真空抽得越来越困难，着急呀！


FEI的电镜似乎没有烘烤的设计 冷阱烘烤和镜筒烘烤似乎都没有
是不是环境湿度太大了抽真空困难？
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linshiafeng
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2009/7/4 13:16:26 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
FEI 貌似是拿红外灯对着照的。
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jeffrylee
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2009/7/4 18:57:47 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
楼主说的日立的那个烘烤是镜筒烘烤，不是烘烤离子泵，是用一套加热片包裹在电子枪上端外侧，再用线跟机身后侧的插头连接，设置好烘烤时间就可以进行了，原理是把镜筒外侧加热后使得里面吸附的气体解吸附后再被离子泵和分子泵抽调。
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2009/7/5 6:33:19 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
FEI的电镜也有烘烤镜桶和冷阱的功能。现在生产的电镜都可以做。只不过有些是软件控制，看不到按钮罢了。
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wildonkey
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2009/7/5 13:00:23 地板 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
我们的是FEI tecnia F20，换灯丝时工程师用发热带缠住镜筒上端，外加4个红外灯对镜筒进行烘烤，此外没见过其他的烘烤。
  离子泵的烘烤，它自己就能完成啊，每次漏大气其实就是烘烤的好机会，开TMP和IGP，真空度先降后升，自发热实现烘烤--工作了吧 发热了吧 吸附的气体都跑出来吧。气越多越热，越热气越多，但会在某高位时平衡的，那时候看着TMP高效率的抽气，心里那个爽啊
  夏天来了，仪器的确不好伺候，IGP抽力萎靡，TMP时常工作不卖力导致Cryo暂停，连ODP这个一直踏实工作的老黄牛也会突然着凉罢工，各位有没有同样问题啊~ 
  大家对于透射上的TMP都是怎样维护的？ TMP能烘烤吗？
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Last edit by wildonkey
yahuohua
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2009/7/7 0:56:06 6楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 jeffrylee 发表:
楼主说的日立的那个烘烤是镜筒烘烤，不是烘烤离子泵，是用一套加热片包裹在电子枪上端外侧，再用线跟机身后侧的插头连接，设置好烘烤时间就可以进行了，原理是把镜筒外侧加热后使得里面吸附的气体解吸附后再被离子泵和分子泵抽调。


的确是像你说的这样，看来我原先理解错了，以为是直接加热离子泵呢，多谢指正，也谢谢大家的指点！
的确夏天来了，真空就不好抽。看来大家也有同感。前几天，不小心弄掉了真空，感觉可能样品附着了潮气，被电子束一轰击，挥发出来，这在以前也不怎么严重，最多让真空试数闪几闪，可这次只听得几声阀响，接着屏幕忽然一黑，一看电脑，才发现几个真空室全都变深蓝色了。只好重新抽真空，隔了好半天等到离子泵启动了，原以只是因为样品不干净掉的真空，不是漏气，用不了太久真空就能恢复，可是抽了好久，真空读数就是上不去，直到第二天去看，真空才恢复。
照大家说的，夏天环境湿度变大，而且各种真空泵工作效率又减低，才会导致真空不好维护吧。我们这里屋里没有配除湿机，不知道会不会有用。FEI镜子也都有冷阱，听人说过夏天的时候灌上液氮，能帮着抽真空，不知是否管用。
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