原文由 syning90(syning90) 发表:
楼主可以放心,肯定不是二次电子探头脏了,二次电子探头里主要是有一个闪烁体,那个东西虽然是消耗品,但它的消耗和污染无关。
我判断,楼主看到的圈是物镜光阑的孔径,如果你稍微放大观察倍数,就会发现这个孔就不见了。而你看到的毛圈应该就是光阑孔径上的污染。建议楼主对物镜光阑进行清理,如果使用时间已经较长,建议进行更换。方法也不算难,可以请教一下厂家工程师,使用无水乙醇就可以。
如果清理后效果还不是很好,就只能对整个光路进行清洗了,这时最好请厂家工程师前来。
附一张图,解答一下二次电子探头和背散射探头位置的问题:
原文由 驰奔(srd2009) 发表:
我觉得污染应该不在光阑孔上的,阴影只能在扫描光栅的某个截面上,因为在光阑孔处时刻充满电子束,阻挡的是电子束中的一点,在图像中应该不会直接看到阴影。光阑的污染直接造成象散的增加!
而且在低工作距离最低倍数下,看到的圆圈也是下极靴孔的投影,有些电镜物镜光阑像似乎是可以看到,但需要把焦点聚集在光阑上,在显示器上显示一个圆的亮斑。