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X射线衍射仪（XRD）
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主题：【原创】应力测量求助

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swliza
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发表于：2010/02/15 21:45:04 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
我用x射线法测材料表面应力：具体如下：

先把材料做热处理，材料表面生成一层氧化层（很薄）。选定基体的高角度衍射峰用sin2y（打不出来那个字符）。算出来的值是负值，这说明是基体上是压应力还是氧化膜内是压应力？


写文章时说基体上是压应力状态，被审稿人批说不对，到底怎么回事啊？请教高手！
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2010/2/15 22:58:24 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
应该是膜应力
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qcz9999
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2010/2/22 15:10:46 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
根据选用的靶及功率判断射线照射深度，膜的厚度判断主要是氧化膜内压应力，（不严格地讲是压应力及氧化膜内压应力的和）
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