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扫描电镜（SEM/EDS）
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主题：【求助】扫描电镜homestage不能归位？？？？

浏览0 回复9 电梯直达
sem123
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发表于：2010/03/04 19:03:28 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
那位SEM高手能告诉我  扫描电镜 按下Homestage 功能键，不能归位是怎么回事？按下homestage时会出现提醒警报，上面写着Z轴被锁！
                                                                        谢谢！
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2010/3/4 20:52:00 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
你好，新手版的帖子不会在最新1000帖显示的，看到的人很少，所以下次记得发到相关版面去。
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huangtao0307
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2010/3/8 8:13:30 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
你的字體全疊一起了﹐看不清剛給你編輯了一下.

你是那一家的設備啊﹖沒用過自動馬達﹐所以幫不了你.
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august001
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2010/3/8 11:24:35 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
破真空后检查一下样品台Z轴马达的 Microswitch 的线路吧
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schokolade38
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2010/3/8 19:18:33 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
到STAGE 界面看一下 Z 周后面的图标是不是真的被锁住了
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yang_e
yang_e
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2010/4/2 8:35:22 地板 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
应该是限位开关的问题，我们的扫描电镜每次做homestage的时候都需要人为地动一下显微开关
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ventyxu
ventyxu
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2010/4/9 11:10:47 6楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
很简单，主要是由于你点了软件里面的LOCK锁住了样品台。
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chenyh-0302
chenyh-0302
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2010/4/9 17:12:24 7楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
您仪器什么型号，我日电6700F的，若Home不能归位，一般Stage calibration一下就可以了。
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永远的菜鸟
sem1233
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2010/4/14 13:56:58 8楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
点下软件上的LOCK。
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cvbs11
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2016/4/19 14:36:11 9楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
你的设备是FEI的吧？如果是的，你可以先点Vent，然后打开样品仓，用手指轻轻的向下压stage，注意看有Z轴坐标的那行，灰色状态解除了就可以抽气后做Stage初始化了
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