主题：【第六届原创】不要被SEM欺骗了你的眼睛

自从新能源行业兴起，实验室就不断接到电池薄膜的做样要求。而对于以拍不导电、高分辨擅长的场发射来说，电池薄膜也算是一个难易适中的样品。

那么，如果样品是常规干法拉制的电池薄膜的话，拍出这样的效果算是SEM能力的正常表现：

不导电，没喷金，也没用低真空，强行靠低加速电压，小束流，并配合降低电子束驻留时间来降低荷电。

但是问题来了，同样一个样品，喷完金以后，在钨灯丝SEM上，结果不是这样的：

同一个样品，喷金后，孔宽径反而比不喷金要小得多。

那一般而言，可能判断是由于金颗粒堆积在样品表面，使孔径在各个方向上都有变小，但是长宽比完全不一样的啊……

偶尔一次移动视野的过程中，发现没喷金的样品经过电子束那么一扫，就那么一扫的功夫，孔宽径全部张开了 f(-_-)|||
这张是在Beam Blank的前提下移动完样品台，马上拍照的结果。拍照方式是积分，但是由于孔宽径随着不断的扫描也在不断的扩大，所以漂移校正功能在x方向上作用不大，样品有点模糊。


扫完上一张照片以后，经过短暂的持续曝光（同一条件30秒左右），用完全相同的条件，在同一位置继续拍第二张。
此时因为样品已经过电子束的照射，该形变的也已经形变完了，所以相对比较清楚，漂移校正功能完全发挥作用。


在这个放大倍数下，同一样品喷金钨灯丝的结果如下：

细节上变化很大，大家可以自己比对。

随着放大倍数升高，样品照射区域变小，这个效果就更明显了。
样品“处女照”

还很瘦吧？

那么经过这么一次电子束轰击以后：


在这个放大倍数下，同一样品喷金钨灯丝的结果如下：

总体而言，钨灯丝的结果更接近于“处女照”。

值得注意的是，为了尽可能避免电子束损伤，该次场发射所用的条件已经是能够达到的辐照强度最低值，包括束斑1.0，驻留时间100ns。另外有录制一段观察界面视频，发现在如此低剂量的照射下，样品形变（具体表现为孔宽径激增）在电子束轰击1-2秒内就可发生。

所以，对于这样的样品，目前而言，场发射看到的不一定是真实形貌，钨灯丝喷金也不一定完全会对高分子样品产生毁灭性的影响。因为场发射电子密度高，在找样品的过程中，稍微不注意，样品细节就有可能已经发生了变化。当然我也没想到这个近常规的样品其实对电子束的耐受力这么差，差到成像量级的曝光已经能够导致严重的形变。所以这个样品若不喷金，热场观察还原真实形貌有难度，冷场估计也半斤八两。

虽然喷金能够抑制样品在观察过程中造成的形变，但喷金本身不可能不产生任何影响。最理想的方法，莫过于AFM摸一摸。因此下一个方向，分两步走：第一，尝试不同的喷金条件（电流，时间，距离，少量多次）；第二，得到AFM结果。

敬请期待~