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主题：【已应助】请问扩散泵的真空一般可以达到多少（mba)呢？

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symmacros
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发表于：2020/07/26 09:58:25 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
请问扩散泵的真空一般可以达到多少（mba)呢？
推荐答案：sdlzkw007回复于2020/07/26
油扩散泵是利用低压、高速和定向流动的油蒸气射流抽气的真空泵。这种泵的极限真空为10-4～10-5帕，工作压力范围为10-1～10-4帕，抽速范围为几十至十几万升/秒（1升=10-3米3）。油扩散泵是获得高真空的主要设备，广泛用于真空冶炼、真空镀膜、空间模拟试验和对油污染不敏感的一些真空系统中。
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2020/7/26 22:30:23 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
油扩散泵是利用低压、高速和定向流动的油蒸气射流抽气的真空泵。这种泵的极限真空为10-4～10-5帕，工作压力范围为10-1～10-4帕，抽速范围为几十至十几万升/秒（1升=10-3米3）。油扩散泵是获得高真空的主要设备，广泛用于真空冶炼、真空镀膜、空间模拟试验和对油污染不敏感的一些真空系统中。
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砂锅粥
czcht
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2020/7/27 8:51:48 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
油扩散泵真空度应该也挺高的，网上资料显示大概是10-1~10-5Pa，估计正常应该有10-3左右，主要是抽速慢。单位有2台扫描电镜，一台是机械泵 油扩散泵，一台是机械泵 分子涡轮泵，两者从开始抽真空到真空度达标可以使用时间相差好几倍。
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2020/7/27 8:53:02 Last edit by czcht
安平
byron1111
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2020/7/29 15:45:00 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
油扩散泵是不是存在有油污染的问题？



真空度受油的蒸汽压限制，真空度不可能低于油蒸汽压。
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symmacros
jimzhu
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2020/7/29 16:23:13 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 安平(byron1111) 发表:
油扩散泵是不是存在有油污染的问题？

真空度受油的蒸汽压限制，真空度不可能低于油蒸汽压。
油扩散泵会存在有油污染的问题。例如返油，有时候会出现462的离子。
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