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主题：【已应助】安捷伦5973，调谐氮含量高29，

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yuhua89412
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发表于：2021/04/17 11:42:38 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
安捷伦6890-5973连接顶空7694E，调谐氮含量高，（29），水1.8，氧气6.5，开分流400吹半小时氮气降到9.7，恢复正常条件后在空气水检查氮气有回到29，新手求指导
推荐答案：yuhua89412回复于2021/04/20
谢谢大家，已经解决，进样口微漏，换了个进样口0型圈，
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xurunjiao5339
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2021/4/17 16:02:55 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
检查下氦气捕集阱是否失效？
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symmacros
jimzhu
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2021/4/17 17:48:40 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
检查顶空的连接或顶空是否有漏气？
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m3123583
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2021/4/17 20:40:44 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
氧气呢？氧气也升上去了，那显然还是漏气，氧气下来了，考虑气体不纯或者捕集阱前漏气，或者刚换的大捕集阱气体未置换完全
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yxwang1990
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2021/4/17 21:13:49 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
大流量吹可以降下去，小流量不行的话，考虑顶空过来的气体漏气，可以分开来排查，把顶空从进样口拔出，然后看是否漏气
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lzq168
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2021/4/19 9:59:11 地板 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
进样口维护一下?
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安平
byron1111
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2021/4/19 17:48:41 6楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
增加分流吹扫的时候，进样口的压力有没有进行修改？

从实验结果来看，载气问题可能不大。

需要考虑是否载气管路或者净化器内是否混入空气残留，其次载气外管路包括减压阀是否存在漏气，需要重点考察。

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安平
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2021/4/19 17:50:23 7楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 安平(byron1111) 发表:增加分流吹扫的时候，进样口的压力有没有进行修改？从实验结果来看，载气问题可能不大。需要考虑是否载气管路或者净化器内是否混入空气残留，其次载气外管路包括减压阀是否存在漏气，需要重点考察。
需要同时观察氧气的变化，如果氧气基本不跟随氮气的变化而变化，那么可能是净化器或者载气管路内有参与氮气，多进行一段时间的吹扫，多次改变流量吹扫为好
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yuhua89412
yuhua89412
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2021/4/20 16:05:53 8楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
谢谢大家，已经解决，进样口微漏，换了个进样口0型圈，
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yifan1117
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2021/4/20 16:10:11 9楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
少量漏气吧。
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手机版： 安捷伦5973，调谐氮含量高29，
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