主题:【已应助】SEM样品室不能高真空,不能吸紧

浏览0 回复2 电梯直达
Ins_7f188874
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早上正常开机开软件,真空度达标后开V1正常,设置电压电流正常,数据归0关V1放气后换了样品,然后抽不了真空了,样品室高真空的声音也很小,样品室没有正常吸紧,会是什么原因呢,
推荐答案:It is me!回复于2021/06/27
真空到不了的原因可多了。不过一般都是样品仓密封或者分子泵未正常工作。
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真空到不了的原因可多了。不过一般都是样品仓密封或者分子泵未正常工作。
Insm_d40d950e
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