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主题：【已应助】电子束成像的衍射极限

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发表于：2021/12/21 21:15:14 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
我按照阿贝方程简单计算了电子束衍射极限，可为啥算出来分辨率那么高呢……含泪求解，感谢
推荐答案：蓝莓口香糖回复于2021/12/22
1.22对应的是全角
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2021/12/22 13:38:30 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
1.22对应的是全角
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2021/12/22 14:25:57 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 蓝莓口香糖(drizzlemiao) 发表:1.22对应的是全角
谢谢蓝莓版主。
我好像明白了…
在不考虑球差存在的情况下，散射角（或叫收集角）最好选取无穷大，衍射极限就会无穷小。
但这个角越大，物镜球差对分辨率影响越大，因此就有个散射角的最优解。在这个条件下，假设Cs为0.2mm，不同高压下得到的衍射极限可以大概在0.3～0.5nm之间（按直径算）。这个值就跟书里算的差不多…
应该是这样吧……
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蓝莓口香糖
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2021/12/23 10:26:54 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
对。所谓最优散射角，本质就是光斑的最小弥散圆，在各种不利条件里找个折衷。
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m3032435
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2021/12/23 12:20:16 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 蓝莓口香糖(drizzlemiao) 发表:对。所谓最优散射角，本质就是光斑的最小弥散圆，在各种不利条件里找个折衷。
嗯嗯，感谢蓝莓版主不吝赐教
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m3033883
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2021/12/23 17:37:35 地板 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
衍射极限。不太理解具体是什么物理量的极限。
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2021/12/25 16:07:38 6楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 m3033883(m3033883) 发表:衍射极限。不太理解具体是什么物理量的极限。
光学物理能说的明白～
衍射极限是因为光的作为波的属性，会发生干涉～在像平面上，一级波和后面的n级次波强度随着位置不同会有加强和减弱，其分布规律就像三角函数一样～结果是点光源到了像平面就不是点，也是一个扩展区域～
扩展区域的尺寸取决于光源波长和数值孔径
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m3032435
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2021/12/25 16:08:32 7楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 m3033883(m3033883) 发表:衍射极限。不太理解具体是什么物理量的极限。
是成像系统分辨率的极限
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