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原文由 fengyonghe(fengyonghe) 发表:原文由 zml88cat(zml88cat) 发表:SEM是JEOL的JSM-6510,今年三月份安装的,刚开始束斑(spot size)是30就挺清楚了,可是后来慢慢的不清楚了,把束斑调大就清楚了,现在束斑都调到60了才能拍清楚照片,这是为什么呢?请教大家!这款电镜是钨灯丝的,如果你还没有换过灯丝那就先换灯丝再进行调整。一定要同时更换栅极帽。如果换过灯丝还调整不好那就怀疑镜筒污染了需要清洗。
原文由 zml88cat(zml88cat) 发表:SEM是JEOL的JSM-6510,今年三月份安装的,刚开始束斑(spot size)是30就挺清楚了,可是后来慢慢的不清楚了,把束斑调大就清楚了,现在束斑都调到60了才能拍清楚照片,这是为什么呢?请教大家!