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主题：【求助】请问测试高纯硅能到5个9的XRF有没有？另硅以外的杂质检测精度要达到1ppm

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figo1983
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发表于：2007/10/08 10:00:00 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
如题，请高手解答，不胜感激！
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2007/10/8 10:03:00 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
据本人所知，起码市场上还没有这样的XRF（包括EDXRF和WDXRF）。
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figo1983
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2007/10/8 10:22:00 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
那除了XRF呢？还有什么仪器可以做？
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george
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2007/10/9 13:40:00 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
XRF应该没有能力做到这么高，对于高浓度样品应该以测量杂质的方法来分析纯度比较好。
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eggho
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2007/12/6 14:59:43 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
如果是EDXRF，应该做不到此精度。如果要测硅，可以考虑用ICP

原文由 figo1983 发表:
那除了XRF呢？还有什么仪器可以做？
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lubin412
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2008/3/26 10:29:43 地板 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
目前来说的话,xrf仪器做不到这么高,一般的xrf仪器本身存在0.01-0.1%的误差.所以做5个9的相当有困难...
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