主题:【求助】求助 VARIAN ICP:年后开机仪器状态面板出现filament flow off 的字样.不知如何处理?

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swanorgoose
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年后初五开机,连接所有附件,电,气,打开主机开关,打开软件,电脑与主机连接,仪器状态面板在RF处有filament flow off 的字样.点火点不着,查过在线帮助,意思是filament属于RF中的一个灯丝.什么作用不知道,请各位帮忙分析一个,该如何处理才好.
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sailorzhg
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是不是空心阴极灯没有启动,多开几次电源开关试下
swanorgoose
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原文由 sailorzhg 发表:
是不是空心阴极灯没有启动,多开几次电源开关试下

是ICP也有空心阴极灯吗?全部提示是: filament gas flow failure
popo
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swanorgoose
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原文由 popo 发表:
应该是你的气体出问题了,检查一下气路!

我们三台ICP用同一条气路,其它的仪器都能正常使用.
LiveBandit
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一是功率管的冷却风机没工作,二是冷却管道中测风速的感应器有问题.
Spain
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原文由 swanorgoose 发表:
年后初五开机,连接所有附件,电,气,打开主机开关,打开软件,电脑与主机连接,仪器状态面板在RF处有filament flow off 的字样.点火点不着,查过在线帮助,意思是filament属于RF中的一个灯丝.什么作用不知道,请各位帮忙分析一个,该如何处理才好.


吹扫一上午后再开机
swanorgoose
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原文由 wangfeidown 发表:
一是功率管的冷却风机没工作,二是冷却管道中测风速的感应器有问题.

上午工程师来了,说是仪器内部落尘灰太多感应器失灵.帮我们做了一上午打扫除,现在已经能使用了.谢谢各位.
stonker
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