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主题：【讨论】关于离子显微镜的讨论

浏览0 回复4 电梯直达
zemb
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发表于：2008/02/28 10:30:23 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
ZEISS ORION 离子显微镜的主要性能如下：


它的性能特点在某些方面比电子显微镜有些优势，但是否能适用于各个领域？
据说他的价格比高档的场发射扫描电镜略贵一些。
下面是一篇关于离子显微镜的资料，可下载。
http://www.instrument.com.cn/show/download/shtml/063902.shtml
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amoslau
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2008/3/7 10:14:10 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
好东西，景深、亮度、分辨率都是大大的高；

不知道束流稳定度有多高？

不能作能谱是个遗憾，microchannel Plate探头看样品成分需要肉眼对灰度识别，如果成分多了对眼睛要求很高；

除了He气还可以加入其它的气体，这样做离子刻蚀、沉积也不错；


这个大家伙光真空系统看样子就不便宜，如果真的只比热场发射贵一点的话，性价还是不错的哦。以上是我这两天做的功课，请大侠指点。

附图片，来源于smt.zeiss.com





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huangtao0307
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2008/3/10 19:39:42 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
圖片效果好像不像啊﹗
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春天的桃子
dct1983
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2008/12/1 13:38:05 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
绝对是好东西，价格也是不菲的
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wildonkey
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2009/1/2 10:12:45 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
分辨率、景深和衬度都有很大突破，zeiss网站上一张图说已经达到0.27nm的分辨率了。如真的只比高档扫描贵一些，那还是可以的。
感觉要在离子损伤、弱信号放大等方面要改进。不知道使用维护成本如何。不能进行EDS分析很可惜。
  其实Zeiss把它改造成一个惰性气体离子源的高精度FIB应该是很有前途的，例如可改用Ar、Kr等气体，无离子注入，最小加工线宽亚纳米级，足以把现在所有的FIB都打的遍地找牙，那可是相当的niubility！
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