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主题：求助：EDS打点的面积多大(20kV,50nm）？

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小石头
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发表于：2006/10/12 08:35:00 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
请教各位高手，我做EDS的时候用的束斑是50nm，加速电压20KV,取谱图用的是打点模式，有人问我打点的面积多大，我还真不清楚。我告诉他比束斑要大，但是大多少有没有个大致范围呢？请发表评论。 我用的是JEOL6390LV SEM和OXFORD EDS.
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小石头
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2006/10/12 8:47:00 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
殷切希望大家拔刀相助！我就想确认是不是EDS打点的面积是不是它的束斑？
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德国工兵
tao______
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2006/10/12 9:32:00 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
当然不是束斑大小了，而且也不应该用面积来表达！有专门的一个词叫空间分辨率，一个梨形的空间，既然您用的是OXFORD的产品，那么他的帮助里面应该有这些内容，论坛也有很多老贴讲了这个问题！
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zhuwenfeng
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2006/10/12 9:53:00 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
我也遇到过这个问题啊！做粉末样品时，如果样品没有压制成薄片，多大的颗粒才能得到较好的定量分析结果？小于此尺寸是不是只能算定性？
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常怀千岁忧
narcisus
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2006/10/12 10:31:00 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
可以用蒙特卡罗程序模拟的，可惜手头上没有这个软件
如果使用牛津的能谱，可以用“相互作用区域”查看
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小石头
julibo
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2006/10/12 10:54:00 地板 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
谢谢少尉tao的指点，不过这个梨形的体积或者最“胖”的地方直径有多少呢？当然这应该和样品成分组成有关系。还是多谢了！
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小石头
julibo
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2006/10/12 11:02:00 6楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
X-vray的作用体积是不是1～2微米的体积圆？
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小石头
julibo
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2006/10/12 13:00:00 7楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
这是我今天第二次看到蒙特卡罗程序，可能INCA会带这个程序吧。应该不用额外花银子的吧？
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小石头
julibo
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2006/10/12 16:30:00 8楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊

从图片上看，X－ray的作用“面积”也有微米级了
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skyhunter
skyhunter
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2006/10/12 20:22:00 9楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
应该是自定义大小的吧。而且随着样品放大倍数的不同，我个人认为它是不同的。
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德国工兵
tao______
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2006/10/13 13:15:00 10楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
具体的作用区域的范围要看样品的结构,不同的样品在相同的电镜条件下作用区域,具体可以参照牛津软件帮助里面的一个MONTE CARLO的模拟,里面分别用了Si样品在5 10 15 20 KV 的条件下以及倾斜的时候的空间分辨率.
附件是具体路径供你参考.

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