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主题：【求助】SEM检测时会不会对样品造成结构上破坏

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starfae
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发表于：2008/04/20 16:05:12 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
电镜电子束打到物体表面后与检测物内的电子，原子发生碰撞时，会发射出二次电子，背散射电子，Ｘ射线等，那这个过程会不会对检测物的物理结构，分子结构造成破坏．对回复者提前说大话谢了．另外怎么样结贴了，麻烦也附上，因为我还是个新手不会结帖，谢谢．
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2008/4/20 17:20:48 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
怎么没人回答，我先顶一下．
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peterhsiao
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2008/4/20 23:36:01 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
那要看试样的材料是什么,还要看测试条件,比如加速电压,束流密度等.
一般来说,普通金属合金,良好导电体不会有影响的.但是电绝缘体就难说了,比如软化温度不高的高分子材料,就只能用很低的加速电压.有的样品还必须用ESEM来代替SEM.
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2008/4/21 9:01:34 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
谢谢，有点理解了．
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starfae
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2008/4/21 9:01:39 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
谢谢，有点理解了．
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starfae
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2008/4/21 12:24:00 地板 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 peterhsiao 发表:
那要看试样的材料是什么,还要看测试条件,比如加速电压,束流密度等.
一般来说,普通金属合金,良好导电体不会有影响的.但是电绝缘体就难说了,比如软化温度不高的高分子材料,就只能用很低的加速电压.有的样品还必须用ESEM来代替SEM.

那对半导体材料会有影响没，比如说晶片
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peterhsiao
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2008/4/22 20:33:16 6楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
因为有电子束流注入，对于半导体器件极有可能造成破坏和失效；对于高纯度的半导体材料，适当调整加速电压和束流，应该是没有问题的。
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