主题:能谱测试取样深度

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halerok
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EDS分析时的取样深度一般是多少呢?Acc.V :20V,束斑直径:20nm
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zemb
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这要取决于样品的成分,一般黑色金属为 1 微米左右,重金属要小一些,轻元素有些要达几十微米。
shxie
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原文由 zemb 发表:
这要取决于样品的成分,一般黑色金属为 1 微米左右,重金属要小一些,轻元素有些要达几十微米。

嗯,一般说是几个立方微米的空间,梨形球。具体多大oxford的软件里面有个计算模拟的程式。
cz_sem
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一般说是几个立方微米的空间,梨形球。具体多大oxford的软件里面有个计算模拟的程式

能具体介绍下吗?
shxie
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原文由 cz_sem 发表:
一般说是几个立方微米的空间,梨形球。具体多大oxford的软件里面有个计算模拟的程式

能具体介绍下吗?

这个是oxford能谱软件里面有的一个小功能。如果没有记错的话,应该在help文件里面可以找到。输入电压和元素,应该就出现一个类似梨形的球体,里面是电子运动的轨迹,并显示深度。
可惜这个文件似乎只能在整个软件安装好之后才能用。所以无法传,唉
SeanWen
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是啊,作用深度跟样品材质和加速电压有关系也,还有跟电子束大小应该也有关系吧?
shxie
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原文由 SeanWen 发表:
是啊,作用深度跟样品材质和加速电压有关系也,还有跟电子束大小应该也有关系吧?

好像没有关系,这个跟X射线信号产率有关吧?
halerok
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电压和电流对取样区域和深度都有影响。
对原子序数小的元素来说,取样区域呈梨型,原子序数大的元素取样区域为半球型,随着电压和电流的增大,其取样深度都增大。
shxie
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原文由 halerok 发表:
电压和电流对取样区域和深度都有影响。
对原子序数小的元素来说,取样区域呈梨型,原子序数大的元素取样区域为半球型,随着电压和电流的增大,其取样深度都增大。

越来越惭愧了,自己能谱方面的知识太缺乏了。
SeanWen
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原文由 shxie 发表:
原文由 halerok 发表:
电压和电流对取样区域和深度都有影响。
对原子序数小的元素来说,取样区域呈梨型,原子序数大的元素取样区域为半球型,随着电压和电流的增大,其取样深度都增大。

越来越惭愧了,自己能谱方面的知识太缺乏了。


不相信我?
shxie
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原文由 SeanWen 发表:
不相信我?

呵呵,不是不相信你,是不相信自己的能力,越来越觉得应该让贤了
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