主题:关于电子显微镜成像畸变的问题

浏览0 回复9 电梯直达
cava333
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在定量显微学里面,测量的精度主要受图像的畸变的影响。
请问:在SEM中,应该考虑哪些畸变/像变?怎样来修正他们呢?

谢谢各位了!
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cava333
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小石头
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cava333
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没人回答是因为问题太浅显,为什么不先静下心来看以前的帖子呢
cava333
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原文由 renxin 发表:
没人回答是因为问题太浅显,为什么不先静下心来看以前的帖子呢


关于您们以前的那篇关于像差的帖子我已经仔细读过了,并没有回答我的问题。

我应该把问题提得再细一些,我主要是指:

对畸变后的像,有没有数学上的算法,将其还原?一边用于精确测量。
通过标定能够确定电镜的像差参数,但应该怎样把这些参数应用到畸变的还原上呢?

zemb
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不知道你要测量什么东西,需要多高的精度。
电子显微镜用作测量,主要影响精度的是放大倍数,一般电镜放大倍数的精度大概是<3%。
由于畸变因素的影响相对放大倍数来说较小。在低倍时畸变较大,一般在1%以内(鱼眼镜头是不是要大一些),高倍时畸变很小。
放大倍数、畸变各台电镜均不相同,就是同一台电镜在不同的工作条件下也不一样,所以难以进行校准。
我觉得用电镜进行精密测量是很困难的。是否可以考虑用对比的方法进行测量,这就需要有合适的标样了。
以上是我的拙见,但另有高人,有如下一篇文集各位可拜读(我没看过):
(不知作者意愿如何,我就在网上给公开了。)

关于征订“扫描电镜测长问题的讨论”文集的通知

由周剑雄研究员等编写的四川电子科技大学正式出版的“扫描电镜测长问题的讨论”文集,将于2006年5月出版,欢迎选购。
该文集不仅是扫描电镜测长领域的具有开创性的研究成果方面的总结,也是扫描电镜、电子探针以及电子显微镜、各类光学显微镜、图象分析仪等显微实验室必备的分析测试手册和工具,对于提高实验室的分析水平以及实验室的认证和认可具有重要意义。姚骏恩院士正为本书的出版作序,中国科学院常务副院长(兼纳米标准化技术委员会主任)白春礼院士也将为本书题字。详细介绍见microbeam.com.cn(中华微束分析技术网)。
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帐    号:20105239982
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具体问题可与来娜或周剑雄联系:

北京西城百万庄26号矿产资源所探针实验室(100037)
Tel:010-68999796(O),68999530(O)
    139 1038 6417
E-mail:zjx@cags.net.cn
      Zhoujx2001@sina.com
cava333
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楼上的精华。

我还想问一下,国内外现在有没有对 SEM照片 利用标样测定的参数 进行图像处理校正畸变呢?
这个过程主要涉及到那些关键技术?

谢谢
cava333
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六脉神剑
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这里所说的畸变是不是指象散啊?像散是会造成成像在某一方向上形成一致的畸变。
如果是这样的话只要调像散就可以消除
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