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气质联用（GCMS）
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主题：【求助】GC-MS中泄漏

浏览0 回复15 电梯直达
tracy110119
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发表于：2008/06/30 15:14:40 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
请问：气质联用仪中，氮气峰比水峰大很多，检查了相关部件，都没漏气，把流量开大了吹了两天，也没什么变化，哪个高人能否指教一二！
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andyway
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2008/6/30 15:25:22 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
換瓶氦氣看看看
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怪侠一把刀
weifengtwo
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2008/6/30 22:41:55 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
1.用丙酮把气路重新检查一遍
扫描43，EPC也记得检漏
2.更换进样隔垫、把EPC进气口打开放气5min，排出蓄积的氮气
3.更换新的载气，排出气体源头的问题
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maxhuang
maxhuang
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2008/7/1 14:16:34 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 tracy110119 发表:
请问：气质联用仪中，氮气峰比水峰大很多，检查了相关部件，都没漏气，把流量开大了吹了两天，也没什么变化，哪个高人能否指教一二！


你现在的真空度多少？
有没有把transfer line 那边的螺母紧过？
那个地方很容易松的
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tracy110119
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2008/7/1 16:20:28 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 tracy110119 发表:
请问：气质联用仪中，氮气峰比水峰大很多，检查了相关部件，都没漏气，把流量开大了吹了两天，也没什么变化，哪个高人能否指教一二！

气我换过了，该紧的我也紧了，好像还是没有什么变化啊，今天我强行做了个样，结果氧的峰也上来！
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liulu0228
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2008/7/1 21:52:25 地板 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
分子涡沦泵和机械泵没问题吧,会不会出故障
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怪侠一把刀
weifengtwo
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2008/7/1 22:03:26 6楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
我曾经也遇到过此类问题
最后自己检漏实在没有办法
把安捷伦工程师喊过来，最好发现原来是EPC漏气
这个是我自始自终都一直忽略的地方
楼主查查此处看看
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高山流水
高山流水
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2008/7/1 22:11:08 7楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
EPC那地方不是正压吗？空气也能进去么？
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sgsjack
sgsjack
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2008/7/2 14:33:38 8楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
1.将界面调到manual tune,Mass 69 ,28,32
2.打开灯丝
3.增大流速,看28,32比例有什么变化,如果变小MASS漏气,如果变大气路漏气
4.气路漏气可能:进样口,mass接口,Trap
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zyzhuye
zyzhuye
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2008/7/2 14:49:28 9楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
3.增大流速,看28,32比例有什么变化,如果变小MASS漏气,如果变大气路漏气


学习了!
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雨飞扬
biscuityu
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2008/7/3 9:28:49 10楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
最近我们实验室的GCMS也遇到过类似问题，最后发现是调谐液没有了，导致水峰、氮气峰、氧气峰、等居高不下，如果其他地方没问题，建议楼主在手动调谐中将全氟三盯胺关闭，然后进行空气和水分检查，然后再将其打开，再次进行空气水分检查，比较数据。
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