原文由 juju11 发表:原文由 wxmdwb927 发表:
维护计划 ABI
维护项目 每日 每周 三个月 需要时
清洗离子源流路 X
清洗离子源腔体 X
检查气体压力或液氮量 X
清洗Curtain Plate orifice X
检查机械泵油量 X
更换机械泵油
仪器除尘 X
更换空气过滤网
过滤网堵塞时
PPG质量校正 每次开关机时
清洗interface Q0与工程师沟通 有需要时
更换PEEK管 发现堵塞时
更换喷雾针 发现堵塞时
更换机械泵废气回油装置 每年
拷贝过来时也要看一下啊,不然会不对哦。