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主题：【求助】四氟化硅的分析

浏览0 回复3 电梯直达
jxfgh
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发表于：2008/09/23 16:22:56 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
恳求高手赐教，如何分析四氟化硅气体以及其中的各个杂质（氧气，二氧化碳，氯化氢，氟化氢等），要求精确到ppm级别
联系信箱：jxfgh@sina.com
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2008/10/13 22:45:01 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
高灵敏度热导吧，系统一定要干净！
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独钓寒江雪
hzhhqt
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2008/10/15 12:06:23 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
可以用氦放电离子化仪器，用带切割的气路流程完成上述组分的检测
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hejiahuan
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2009/10/16 10:58:55 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 hzhhqt 发表:
可以用氦放电离子化仪器，用带切割的气路流程完成上述组分的检测


能不能说的再详细一点，急需要分析方法。
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