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主题：【求助】离子减薄仪出问题求助

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tianqing
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发表于：2008/10/06 17:03:48 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
我在做离子减薄的过程中出现了这样一个对话框提示：The operation has been halted due to irregular gas flow on the ion gun ,please select a course of action. abort,retry,ignor.当时通入氩气的压力是0.07MPa,点开始的时候发现减薄室的真空值下降到1.32*e-3，停止减薄后真空值又恢复到2*e-5，希望高手们指教，不胜感激！
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tianqing
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2008/10/6 17:07:52 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
仪器型号是FISCHIONE INSTRUMENT MODEL 1010
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jzliu323
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2008/10/7 11:10:34 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
一般离子减薄的气压在1.8MPa，你把气压开大一点看看有什么反应？

真空值变化是正常的，一般没开离子枪气阀之前真空值低于10-4即可，所以说你的真空是正常的。
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jzliu323
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2008/10/7 11:11:52 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
一般离子减薄的气压在1.8MPa，你把气压开大一点看看有什么反应？

真空值变化是正常的，一般没开离子枪气阀之前真空值低于10-4即可，所以说你的真空是正常的。
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xuaiqun
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2008/10/7 11:12:36 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
我推测是气缸的气漏进样品室。我用的是Gatan 600型。听说与你的机器原理差不多。样品杆上的密封圈换一个试试。
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ywngs
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2008/10/10 10:36:30 地板 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
楼上说的问题经常出现还是偶尔现象？如果是偶尔现象就没什么问题．就提提供的真空度参数是正常的，刚开机要下降，减薄几分钟后就稳定了．
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