主题:【求助】四氟化硅气体的分析

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jxfgh
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我想分析四氟化硅气体,看有没有合适的分析方案,及其所要用到的仪器,请高手赐教,信箱:jxfgh@sina.com,电话13949653048

四氟化硅气体中还要分析其中的杂质的含量,如:氧气、氮气、二氧化碳、氯化氢等具体指标如下:

项目                        指标

纯度(SiF4),%  重量比      ≥98

惰性气体,%  重量比        ≤1

二氧化碳(CO2),%  重量比    ≤0.2

二氧化硫(SO2),%  重量比      ≤0.05

盐酸(HCl),%  重量比        ≤ 1.5

氢氟酸(HF),%  重量比        ≤0.5

水份(H2O),%  重量比        ≤0.01

氧(O2),PPm  重量比          ≤50



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