我想分析四氟化硅气体,看有没有合适的分析方案,及其所要用到的仪器,请高手赐教,信箱:jxfgh@sina.com,电话13949653048
四氟化硅气体中还要分析其中的杂质的含量,如:氧气、氮气、二氧化碳、氯化氢等具体指标如下:
项目 指标
纯度(SiF4),% 重量比 ≥98
惰性气体,% 重量比 ≤1
二氧化碳(CO2),% 重量比 ≤0.2
二氧化硫(SO2),% 重量比 ≤0.05
盐酸(HCl),% 重量比 ≤ 1.5
氢氟酸(HF),% 重量比 ≤0.5
水份(H2O),% 重量比 ≤0.01
氧(O2),PPm 重量比 ≤50